[发明专利]半导体制造用坚直传送带与空中升降机组合式自动物料搬运系统有效
| 申请号： | 03814475.1 | 申请日： | 2003-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN1662874A | 公开（公告）日： | 2005-08-31 |
| 发明（设计）人： | 布赖恩·J·多尔蒂;扎马斯·R·马里亚诺;罗伯特·P·沙利文 | 申请（专利权）人： | 布鲁克斯自动技术公司 |
| 主分类号： | G06F7/00 | 分类号： | G06F7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 制造 用坚直 传送带 空中 升降机 组合式 自动 物料 搬运 系统 | ||
【说明书】：
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