[发明专利]用于微波感应的等离子体的等离子体焰炬无效
申请号: | 03817194.5 | 申请日: | 2003-05-21 |
公开(公告)号: | CN1669368A | 公开(公告)日: | 2005-09-14 |
发明(设计)人: | M·R·哈默 | 申请(专利权)人: | 美国瓦里安澳大利亚有限公司 |
主分类号: | H05H1/34 | 分类号: | H05H1/34;H05H1/42;G01N21/73 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 李家麟 |
地址: | 澳大利亚*** | 国省代码: | 澳大利亚;AU |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 微波 感应 等离子体 | ||
【权利要求书】:
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