[发明专利]高PTF溅镀靶和制造方法无效
| 申请号： | 03818079.0 | 申请日： | 2003-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN1671881A | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 张文军;贝恩德·孔克尔;阿南德·德奥杜特;迈克尔·巴托洛梅乌斯 | 申请（专利权）人： | 黑罗伊斯有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;G11B5/84;G11B5/64 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;郭国清 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | ptf 溅镀靶 制造 方法 | ||
【说明书】：
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