[发明专利]减少在化学机械法平面化过程中的表面凹陷和磨蚀的方法无效
| 申请号： | 03818789.2 | 申请日： | 2003-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN1675327A | 公开（公告）日： | 2005-09-28 |
| 发明（设计）人： | S·D·赫尔灵;李玉琢;R·L·奥格 | 申请（专利权）人： | PPG工业俄亥俄公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B24B1/00;H01L21/321 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 龙传红 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 减少 化学 机械 平面化 过程 中的 表面 凹陷 磨蚀 方法 | ||
【权利要求书】：
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