[发明专利]制造系统,发光装置以及含有有机化合物层的制造方法有效
| 申请号： | 03820510.6 | 申请日： | 2003-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN1679375A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 山崎舜平;村上雅一;桑原秀明 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;H05B33/14;C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘红;张志醒 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 系统 发光 装置 以及 含有 有机化合物 方法 | ||
【说明书】：
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