[发明专利]用于监视和控制半导体生产过程的方法和装置有效
| 申请号： | 03821970.0 | 申请日： | 2003-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN1682165A | 公开（公告）日： | 2005-10-12 |
| 发明（设计）人： | 梅里特·芬克;雷蒙德·比德森 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 秦晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 监视 控制 半导体 生产过程 方法 装置 | ||
【说明书】：
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