[发明专利]用于等离子体处理系统中的改进的折流板的方法和设备有效
| 申请号： | 03822206.X | 申请日： | 2003-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN1682341A | 公开（公告）日： | 2005-10-12 |
| 发明（设计）人： | 西本伸也;三桥康至;中山博之 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李春晖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 处理 系统 中的 改进 折流板 方法 设备 | ||
【说明书】：
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