[发明专利]具有倾斜视角的检测系统无效
申请号: | 03823096.8 | 申请日: | 2003-09-08 |
公开(公告)号: | CN1685219A | 公开(公告)日: | 2005-10-19 |
发明(设计)人: | 都伦·寇恩葛特;斌央米·可恩;艾麦夏·捷塔 | 申请(专利权)人: | 应用材料以色列股份有限公司;应用材料有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/95 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁 |
地址: | 以色列*** | 国省代码: | 以色列;IL |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 倾斜 视角 检测 系统 | ||
【说明书】:
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