[发明专利]用于对衬底侧面进行布线的光刻方法无效
| 申请号： | 03823110.7 | 申请日： | 2003-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1685286A | 公开（公告）日： | 2005-10-19 |
| 发明（设计）人： | A·J·M·内里斯森 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 原绍辉 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 衬底 侧面 进行 布线 光刻 方法 | ||
【说明书】：
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