[发明专利]微结构冷却器及其应用有效
申请号: | 03823629.X | 申请日: | 2003-09-29 |
公开(公告)号: | CN1689153A | 公开(公告)日: | 2005-10-26 |
发明(设计)人: | 海因里希·迈尔;康拉德·克雷默;奥拉夫·屈茨;拉尔夫·赫贝尔;彼得·普雷希特尔;斯文·泰森;马库斯·赫恩 | 申请(专利权)人: | 埃托特克德国有限公司 |
主分类号: | H01L23/473 | 分类号: | H01L23/473 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 刘兴鹏 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微结构 冷却器 及其 应用 | ||
【权利要求书】:
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