[发明专利]用于掠入射干涉仪的干涉带图案鉴别器有效
| 申请号： | 03823744.X | 申请日： | 2003-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN1692269A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | C·A·李;M·J·特罗诺洛恩;A·W·库拉维克 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 入射 干涉仪 干涉 图案 鉴别器 | ||
【权利要求书】：
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