[其他]溅射太阳能选择性吸收涂层

权利要求书

1、一种溅射太阳能选择性吸收涂层，其特征是以沉积的铝膜为底层，以沉积的铝-氮（或铝-碳-氧）复合成分为吸收材料层，该吸收材料层的成分是渐变的。

2、按照权利要求1所说的溅射太阳能选择性吸收涂层，其特征是底层铝膜厚度不小于0.1×10^－６m。

3、按照权利要求1或2所说的溅射太阳能选择性吸收涂层，其特征是吸收材料铝-氮（或铝-碳-氧）厚度在0.08×10^－６m至0.25×10^－６m。

4、按照权利要求1所说的溅射太阳能选择性吸收涂层，其特征是在该涂层上再盖一层铝-氧化合物薄膜，其厚度不小于0.04×10^－６m。

5、按照权利要求1所说的溅射太阳能选择性吸收涂层，其特征是使用的铝阴极的纯度不低于95%。

6、一种制造如权利要求1所说的太阳能选择性吸收涂层的方法，其特征是在纯氩气中非反应溅射铝膜以后，于同一溅射室内，注入氩气与氮气（或一氧化碳）混合气体，随着氮气（或一氧化碳）的流量逐渐增加，相应沉积的吸收材料厚度增加，氮（或碳、氧）对铝原子数的比值亦增加，最表面是在纯氮（或纯一氧化碳）溅射沉积铝-氮（或铝-碳-氧）化合物。