[其他]重烧结氮化硅陶瓷制备方法在审

专利信息
申请号: 101985000000506 申请日: 1985-04-01
公开(公告)号: CN85100506B 公开(公告)日: 1987-08-12
发明(设计)人: 庄汉锐;华道权;李文兰;邬凤英;符锡仁;严东生 申请(专利权)人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
主分类号: 分类号:
代理公司: 中国科学院上海专利事务所 代理人: 潘振苏;聂淑仪
地址: 上海市长宁*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 烧结 氮化 陶瓷 制备 方法
【权利要求书】:

1、一种重烧结氮化硅的制备方法,一般包括二个阶段,首先由硅粉和添加物混合后制成块状,在N2、H2、Ar混合气体中于1200~1500℃加热氮化变为含有添加物的反应烧结氮化硅,然后再埋入填料中重烧结,其特征在于:

(1)主要添加物是Y2O3和Al2O3组成的钇铝石榴石,加入量为5~35%(重量);

(2)在添加钇铝石榴石的基础上,再添加一种或多种辅助添加物,如TiO2、ZrO2、CeO2等,添加量为0.1~1%(重量);

(3)埋料是由氮化硅、氮化硼和氧化硅组成,其组分分别为70~98%、1~30%和0.1~10%(均为重量);

(4)重烧结是在1650~1950℃N2气氛下进行的,保温0.5~10小时。

2、按权利要求1所述的方法,其特征在于优先推荐的钇铝石榴石添加量为10~20%(重量)。

3、按权利要求1所述的方法,其特征在于重烧结的最佳温度范围是1750~1850℃。

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