[其他]极高真空分离规

说明书

极高真空分离规是一种测量真空的规管。本发明是由圆锥状鼠笼式栅极，锥形引出极。圆筒形反射极，环形灯丝，短收集极所组成，并利用真空管导作为外屏，使其灵敏度提高，降低光电流本底，加上自调制方法的应用，致使其测量下限拓宽到１０↑［－１４］托（等效氮压）为极高真空的测量、尖端科学的发展，提供了良好的条件。

本发明是一种测量真空的规管。

1965年P.A.Redhcad提出的分离规，其测量下限为10^-12托（等效氮压）数量级，它是由螺旋栅极，V形灯丝，平板引出极，碗形反射极，短收集极所组成。另外西德Lebold-Heraeus公司生产的分离规由鼠笼栅极，环形灯丝，平板引出极，碗形反射极，短收集极组成，其下限为10^-12托数量级（等效氮压），清华大学提出的分离规，其下限也在10^-12托数量级（等效氮压），它是由螺旋栅极，倒J形灯丝，平板引出极，碗形反射极，短收集极所组成。

本发明的目的在于研制一种重复性好、灵敏度高，测量下限能拓宽到10^-14托（等效氮压）数量级的一种高真空分离规。

本规管从内部电极数目来看与原有分离规一样，有栅极、灯丝、反射极、收集极。从外部来看本规管是利用真空连接管导作为外屏。本规管的技术特征是：

①有端栅的栅极为圆锥状鼠笼式。②引出极是锥度为45℃空心圆锥状。③灯丝为圆环状。④反射极为空心的收口圆筒状。⑤收集极为0.1mm的细丝。⑥利用真空连接管导作为外屏。⑦所有电极同轴装架于金属陶瓷法兰芯柱上。

基于以上结构特点，只要使灯丝电位等于或略大于其所处自然电位，则电子振荡次数增加，且为栅极的中、上部所接收，电子不可能打入引出孔，而圆筒形反射极体使离子的收集效率提高。锥形引出极使离子的引出率提高。致使规管灵敏度提高，光电流本底降低，拓宽了测量下限。

本规管与同类分离规相比的优点是：灵敏度高，灵敏度与电离空间体积的立方根之比也高：测量下限小，引用自调制方法，可测10^-14托（等效氮压）数量级的压强。

图为本发明的结构简图的剖面图。

本发明实现的最好方式是①灯丝2定形，将钨丝绕于圆筒形45^#钢模上，烧氢（1000℃，10分钟），脱模后即可应用。②栅极1制造：将钽皮做成圆形圈框，装于栅极模上，再用经真空拉直的钨丝以2mm间距相平行点焊于圈框上，下端栅点焊成轮辐式，中间留4mm圆孔，上端栅用拉直后钨丝以2mm间距平行点焊于另一钽皮圈框上，待栅极装上芯柱后，再使上端栅与栅极点焊牢。③引出极3，反射极4，由镍皮用模具压制而成。④收集极5用钨丝真空拉直即可。⑤先将收集极点焊于芯柱，套上收集极屏蔽套6，再用保证同心度的模具以次装架反射极，引出极、栅极、灯丝于法兰芯柱7上。以真空连接管导作为外屏8。