[其他]干涉仪的补偿装置

权利要求书

1、一种干涉仪的补偿装置，其中参考棱镜（3）、执行元件（15）与支架（1）相刚联，测量棱镜（4）与执行元件（13）相刚联，然后与干涉仪（18），安置在同一床身（5）上，参考棱镜架（2）与执行元件架（16）的安装基面，位于垂直于测量轴线的同一平面（C）内，测量棱镜的安装基面与参考棱镜的安装基面，位于垂直于测量轴线的同一平面（B）内，其特征在于：

（1）在零位，测量臂（11）的光程与参考臂（12）的光程相等，两臂光路相对于分光镜（8）对称分布，分光镜（8）被安置在两反光镜（7）、（10）之间的位置上，二反光镜（7）、（10）相对于分光镜（8）成对称分布;

（2）在稳定He-Ne激光器腔长上，支架（21）的长度L和补偿环（20）、（22）的长度之和1（1＝1₁+1₂），与二者线胀系数α架、α_补成反比，即：L/l＝α_补/α架;

（3）床身为一在重力及与重力同方向外力作用下，只产生纯弯变形的简支梁;

（4）参考棱镜架（16）的线胀系数α_参与测量棱镜架（19）、执行元件（13）、执行元件（14）及架（16）的线胀系数α_执和二处温度变化量△t_参、△t执成反比：α_参/α_执＝△t_执/△t_参，即：使得基面（B）与基面（C）之间的两段线胀量相等。

2、按照权利要求1所说的干涉仪的补偿装置，其特征在于：

干涉仪光路各段：从分光镜（8）到二反光镜（7）、（10），沿光轴的几何距离相等;从二反光镜（7）、（10），到两个棱镜（3）、（4），沿光轴的几何距离相等。

3、按照权利要求2所说的干涉仪的补偿装置，其特征在于干涉仪（18）中的参考臂（12）上设旋转式双光楔（6）。