[其他]一种光电定心及测量装置

权利要求书

1、一种光电定心及测量装置，该装置包括：

（1）分光调制系统，该系统包括分光棱镜（1）用于将作为偏心差讯号的光班分成两束光;和机械调制盘（4），用于将上述的两束光进行机械调制;

（2）、光电变换系统，该系统包括光电接收元件（8），将上述经机械调制的光讯号转换成调幅的电讯号;

（3）光电参考讯号系统，该系统包括光源（9），聚光镜（10）和光电管（11），由光源（9）发出的光束经上述机械调制盘（4）后输出一个与上述被测偏心讯号同频率而相位差180°的参考讯号供相敏检波用;

（4）主电路系统，该系统包括二次选频放大电路，用于放大上述调幅电讯号;相敏检波电路，用于输出指示零位和供放大用的直流电讯号;和直流放大电路，用于放大上述检波后的直流电讯号。

（5）驱动系统，该系统包括伺服微动机构，用于接收上述放大的直流电讯号以驱动上述分光棱镜（1）直到上述偏心差为零;

（6）数字显示系统，该系统包括由光源（12）、准直镜（13）、与分光棱镜（1）一起移动的标尺光栅（15）和指示光栅（14）组成的光栅读数头;和测量莫尔条纹强度变化的数字显示装置。

2、按权利要求1所述的光电定心及测量装置，其特征在于上述驱动系统还包括一个手动微动机构，用于移动上述分光棱镜（1）归零以读取偏心值。

3、按权利要求1所述的光电定心及测量装置，其特征在于上述分光调制系统中的分光棱镜（1）具有锋利的分光棱边，两分光面间夹角为90°，该棱镜由光学玻璃抛光镀膜制成。

4、按权利要求1所述的光电定心及测量装置，其特征在于上述分光调制系统中的机械调制盘（4）为圆形，在其半个圆周边上开有扇形槽;另半个圆上开有一个180°的环形槽。

5、按权利要求1所述的光电定心及测量装置，其特征在于上述驱动系统中的伺服微动机构采用谐波齿轮减速箱。

6、按权利要求1所述的光电定心及测量装置，其特征在于上述数字显示系统中的准直镜（13）为非球面准直镜。

7、按权利要求2所述的光电定心及测量装置，其特征在于上述手动微动机构采用差动螺旋机构。