[其他]流过纯净气体的中间储存装置

权利要求书

1、联接在一个气体分配导管上的流过纯净气体的中间存储装置，它具备至少一个高压储存器，至少一个低压储存器及至少一个升压压缩机，其特征为：无论是低压储存器（7，8）的进气导管（17，18）或是高压储存器（9，10）上的出气导管（43，44）均和气体分配导管（1）相联接，在联接低压储存器与高压储存器的联接导管（11）中至少装入一个升压压缩机，并且由压力传感器（25，26，27，28，41，42，51，52，53，54，61，62）调节的阀（19，20，21，22，39，40，45，46，49，50，59，60）装设在低压储存器和高压储存器的进气导管及出气导管之中。

2、根据权利要求1所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：低压储存器（7，8）的工作范围处于气体分配导管（1）的最低压力以下。

3、根据权利要求1所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：高压储存器（9，10）的工作范围超过气体分配导管（1）中的最大压力。

4、根据权利要求1所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：该低压储存器（7，8）的进气阀用的压力传感器（25，26）联接在气体分配导管（1）上。

5、根据权利要求4所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：该低压储存器（7，8）的进气阀被用作调节阀。

6、根据权利要求4所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：当气体分配导管（1）中的压力超过其一个预定的最大压力时，该压力传感器（25，26）打开该低压储存器（7，8）的进气阀（21，22）。

7、根据权利要求1所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：该高压储存器（9，10）的出气阀（49，50）用的压力传感器（51，52）联接在气体分配导管（1）上。

8、根据权利要求7所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：该高压储存器（9，10）的出气阀（49，50）用作为调节阀。

9、根据权利要求7所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：在气体分配导管（1）中的压力低于其一个预定的最小压力时，该压力传感器（51，52）打开该高压储存器（9，10）的出气阀（49，50）。

10、根据权利要求1所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：对于高压储存器（9，10）设置了一个直接与气体分配导管（1）相联并具有至少一个升压压缩机（63）的高压旁通进气导管（64）。

11、根据权利要求1所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：一个直接与气体分配导管（1）相联的低压旁通进气导管（69）在联接导管（11）的第一个升压压缩机（12）前面的低压侧上与联接导管（11）相联。

12、根据权利要求10或11所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：在旁通导管（64，69）上装设了一个遥控的调节阀（67，70）。

13、根据权利要求1所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：在联接导管（11）中串联了多个升压压缩机（12，13）。

14、根据权利要求10及13所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：为了降低储存器的温度，每个升压压缩机（12，13，63）的后面均联接了一个热交换器（14，15，68）。

15、根据权利要求1所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：为了降低储存器温度用的热交换器（31，32）装设在由气体分配导管（1）传导气体给低压储存器（7，8）用的进气导管（17，18）上。

16、根据权利要求1所述的流过纯净气体的中间存储装置，其特征为：在低压储存器（7，8）上设置了为了降低储存器温度用的热交换器（29，30）。