[其他]高流量多级盘形分子泵

权利要求书

1、一种盘形分子泵，包括固定在泵体壳上的多个定圆盘和同轴安装在旋转轴上的多个动圆盘，所述定圆盘与所述动圆盘是交替设置的，其特征在于上述定圆盘或上述动圆盘面上刻有形状为R＝R_o·e^ctg2·θ的对数螺线槽，其中R为螺线半径，R_o为圆盘内半径，θ为极坐标极角，α为螺线槽切向与圆盘径向之间的夹角，其值在45°与85°之间。

2、根据权利要求1所说的盘形分子泵，其特征在于各定圆盘的内径R₁取不同值，靠近入口侧的2-4级取较大值：0.5R₂到0.8R₂之间，其余各级取较小值;0.3R₂到0.6R₂之间，其中R₂为动圆盘的外半径。

3、根据权利要求1或2所说的盘形分子泵，其特征在于相邻两单级盘形泵的螺线槽开在定圆盘3或动圆盘4的两侧面上，螺线槽的走向相反。

4、根据权利要求1或2所说的盘形分子泵，其特征在于相邻两单级盘形泵的螺线槽交替开在定圆盘3和动圆盘4上，螺线槽走向一致。

5、根据权利要求3所说的盘形分子泵，其特征在于螺线槽切向与圆盘径向夹角α在50°到60°之间。

6、根据权利要求4所说的盘形分子泵，其特征在于螺线槽切向与圆盘径向夹角α在50°与60°之间。

7、根据权利要求3所说的盘形分子泵，其特征在于入口侧串联安装若干级涡轮分子泵叶轮。

8、根据权利要求4所说的盘形分子泵，其特征在于入口侧串联安装若干级涡轮分子泵叶轮。

9、根据权利要求1或2或5或6所说的盘形分子泵的结构原理做成的气体动密封装置。

10、根据权利要求3所说的盘形分子泵的结构原理做成的气体动密封装置。

11、根据权利要求4所说的盘形分子泵的结构原理做成的气体动密封装置。