[其他]含有预定方向纤维的衬垫及其制作

说明书

本发明涉及一种由一浸渍了微孔弹性体，有一工作表面的纤维毛毡织品组成的多孔制成品，其中纤维的定向与该工作表面基本相交。

本发明涉及一种制成品，该制成品特别适宜于用作材料抛光的衬垫，尤其是用作半导体大圆片抛光的衬垫。

更具体地说，本发明有关一种由一片或一张浸渍了微孔弹性体的纤维毛毡组成的多孔材料，其中，形成毛毡的大多数纤维的定向与物品用作工作表面如抛光表面、承受表面等的表面基本相交，因此，大多数纤维终止于监控该工作表面的地方。纤维的纵轴线最好与工作表面成45°左右至135°左右的角度。本发明还涉及一种制作该新式制成品的方法。

用于抛光及其它一些本发明制成可能应用的加工操作的传统的衬垫包括用诸如聚酯纤维类的纤维制成的一片或一卷非纺的毛毡，并用诸如氨基甲酸乙酯之类的微孔弹性体浸渍之。已有技术中的该物品结构的典型例子为考发姆牌（CORFAM牌，杜邦公司的一个商标）以及苏巴四号（罗德尔公司的一个商标）多孔材料。

在已有技术中，浸渍后毛毡的纤维是随意定向的，但一般大多与毛毡织品的主平面平行。用于制作多孔材料的毛毡织品是用众所周知的技术制作的，这些技术包括针织技术，其目的是为了使纤维在毛毡织品中的纤维在三维方向随意定向。然而，在实际生产中，这种纤维的三维随意定向是很难做到的，大多数的纤维都与毛毡织品的主要表面平面平行。

在传统的多孔抛光垫中，纤维使抛光垫合为一体，并支撑垫内的柔软的弹性体组份，这种纤维对抛光操作所起的作用甚微，相反，由于它会吸收废抛光浆并截留在抛光操作中从被抛光物件上下来的小粒子等，因而会妨碍和阻止抛光操作的进行。位于抛光垫表面的纤维使工件与作为活性抛光组份的大部分微孔弹性体隔开了，而纤维的侧面并不能够有效地抛光。

当已有技术的抛光垫表面的纤维截留了异物颗粒之后，必须调换抛光垫，因为这些异物颗粒可能划伤待抛物件的表面，调换抛光垫时，经常还未损耗抛光垫厚度的10%。

用于抛光的多孔弹性体的表面具有抽吸功能。当抛光垫旋转时，由工件传至多孔抛光垫的表面上或表面附近的孔隙的压力压缩之，使废抛光浆及废渣排出。该孔隙然后再放开，注入新的抛光浆。已有技术中的抛光垫的孔隙会饱和，抛光垫会变硬，由于垫内有许多致密的或变细的水平定向的纤维束，因而垫中会产生一块硬性区域。因此，其柔韧性被削弱了，不可能再有抽吸功能。

本发明克服了已有技术中的缺点，与已有技术中的多孔材料相比是一大改进，特别是当该材料用作抛光衬垫时更是如此。

此地所用的“临近”，如：纤维终止于临近工作表面的地方，指纤维在工作表面上或在比该表面略高或略低的地方终止。

此地所用的“基本相交”，指与一预定表面形成一个45°左右至135°左右的角度。

此地所用的“工作表面”指本发明中用作接触工件的表面，例如抛光表面，承受负载表面或其他类似表面的物件的表面。

本发明的一个方面有关一种多孔制成品，其特征为有一张浸渍有微孔弹性体的纤维毛毡，该毛毡有一工作表面，其侧表面与工作表面相连，其支撑表面与各侧表面相连，其中，大多数纤维的定向基本与工作表面相交，因此，大多数纤维端部邻近工作表面，与工作表面呈45°左右至135°左右的一个角度。

本发明的另一个方面有关一种制成品的加工，其特征在于有以下各步骤：

（a）通过以下方式制成预成型件，

（ⅰ）制成一张由纤维组成其中大多数纤维的排布有预定方向的毛毡;

（ⅱ）用一种微孔弹性浸渍毛毡，以及

（ⅲ）使浸渍了弹性体的毛毡固化，以及

（b）以使大多数纤维与所切表面成基本相交定向的方式切下预成型件，该切割表面成为工作表面。

本发明的另一个方面有关一种多孔物件，以及制作该物件的方法，其中，支撑织品中的大多数纤维与织品工作表面基本成相交定向，这是采用诸如生产剪切毛头的丝绒地毯的技术或称之为堵塞技术（flocking）的传统地毯制造技术制成的，然后，用可以固化的微孔弹性体浸渍该织物。