[其他]金属零件表面形成硫化物层的方法及设备

权利要求书

1、一种通过硫的加热气化而在金属零件表面形成硫化物层的方法，该方法由下列部分组成：将被渗金属零件放置在真空炉内反应室中的阴极盘上，同时在真空炉中还放置有固体硫，固体硫在真空炉抽真空情况下（真空度为1～10^-2托）进行加热并达到沸点而气化，气化硫充满反应室中，此时在阴极和阳极之间施加一电场，硫气体在电场作用下电离，正离子硫轰击位于阴极盘上的金属零件，从而使其表面形成硫化物层，该方法的特征在于，固体硫直接加热气化，气化硫在直流高压电场作用下电离并产生辉光放电，在辉光放电条件下对金属零件进行表面渗硫。

2、根据权利要求1中的方法，其特征在于，辉光放电时的高压电场的电压为450伏-1500伏。

3、根据权利要求1中的方法，其特征在于固体硫的加热是通过一低压电源来进行的。

4、根据权利要求1中的方法，其特征在于，被渗金属零件加热温度为140°～300℃。

5、根据权利要求1或3中的方法，其特征在于固体硫加热气化的温度为140°～200℃。

6、根据权利要求1或3中的方法，其特征在于，固体硫加热气化是在阴极盘之外处进行的。

7、根据权利要求1或2中的方法，其特征在于辉光放电时间一般为1～4小时。

8、一种对金属零件表面进行气体渗硫从而使其表面形成硫化物层的设备，该设备的特征在于，它是由下列部分组成的：一真空反应室;处于该真空反应室中的阴极盘和阳极，被渗金属零件就是放置在该阴极盘上;一盛装固体硫的蒸发器。

9、根据权利要求8中的设备，其特征在于蒸发器位于阴极盘上。

10、根据权利要求8中的设备，其特征在于蒸发器位于阴极盘以外的地方。