[其他]接触信号测头

权利要求书

1、一个电测接触探针与工件接触的接触信号测头，包括一个测头外壳和一个接触探针基座，基座定位于该测头外壳内，并能在多方向上移动，有单一的停留位置，该基座夹持该接触探针，该测头的特征在于测头包括分别安装在该接触探针基座上部和下部的上膜片和下膜片，膜片支撑着接触探针套体，装有接触探针的套体相对于接触探针基座是可以移动的，在测头内有许多对安装在该接触探针套体上的磁心和分别与这些磁心相对的另外许多对安装在接触探针基座上的检测线圈，因此，通过磁心对和检测线圈对的相互作用，可以电测该接触探针在多个方向上的位移。

2、根据权利要求1所提出的接触信号测头，其特征是接触探针基座由滚珠支承座可移动地支撑在测头外壳的底盘上，保持在它的单一停留位置上，在接触探针基座和底盘之间装有偏置弹簧，使得接触探针基座压靠在底盘上。

3、根据权利要求2所提出的接触信号测头，其特征是滚珠支承座包括三个固定在接触探针基座上的滚珠槽，三个安装在底盘上的支座和三个放入相应的滚珠槽和支座之间的支承滚珠，每对支座分别为锥形支座面，V形凹槽支座面和平支座面，以得到单一的停留位置。

4、根据权利要求1所提出的接触信号测头，其特征是接触探针套体包括一个在接触探针套体纵向对称的六面体磁心支架，在磁心支架三对表面的每一对表面上，装有一对磁心，与安装在接触探针基座上的每对检测线圈相对应，分别保持一致的预定间隙。