[其他]试验彩色阴极射线管面板组合件的方法

说明书

测试彩色阴极射线管屏组件的方法，即将组合件的屏盘密封到射线管漏斗部分以前，测试组合件中缺陷，该缺陷包括与屏盘上所配置的萤光屏邻接安装的带孔荫蔽罩的凹痕（缺口）及错位。萤光屏曝露于通过荫蔽罩隙孔的辐射之下，此种辐射包含紫外线但实质上不含可见光辐射，检测萤光屏的发光颜色变化，此颜色变化表示了组合件中的缺陷。

本发明涉及到在将屏组件密封到彩色阴极射线管的漏斗部分前测试射线管的屏组件的方法，以求检测组件中的缺陷。

在制造彩色电视阴极射线管时，三大主要组成部分组装成为完工了的彩色显像管或阴极射线管。这些组成部分为电子枪组件，漏斗部分，以及屏组件，此屏组件包括与由红，绿及蓝色荧光粉组成的荧光屏邻接安装的带孔荫罩。这些组件的任何一个缺陷均可造成阴极射线管的报废。如在最后装配前查出这些缺陷，则可只使有缺陷的组件报废，成本比较低。而在最后检查电子管时才查出这些缺陷，则使完工产品报废，成本显著加高。

由于工艺及材料变化，荫罩并非可以互换。因此，在最初制造屏组件时，就须将每一荫罩与一特别屏盘作独特配对，因此，荫罩和屏盘一起通过随后的制造步骤装配成最终产品。荧光粉浆料和一种黑色衬底涂料通过化学光致抗蚀工艺沉积在屏盘的内表面上，该化学光致抗蚀工艺用荫罩作为曝光步骤时的光刻屏蔽罩。这种曝光步骤系在本领域中公知的“曝光台”这样的曝光装置上实施。

该“曝光台”的设计使来自一微小面积辐射源的投射光通过荫罩而将光敏膜曝光。光束通过荫罩的隙孔，以便在光敏膜上形成实质上与荫罩的隙孔为同一形状的图形。“曝光台”设计的方式，使此光束通过荫罩的轨道，如同最后产品中的电子束通过的轨道一样。由于彩色阴极射线管采用三个电子枪（红，绿及蓝三种彩色各用一个），因此，“曝光台”一般均有某种装置，用以调节光源的位置并调节曝光台之光学系统，以模拟三个不同电子枪的效应。如将“曝光台”调节到（红色）位置时，通过荫罩的光束则落在荧光屏上的来自成品中的红色电子枪的电子也将落在上面的那部分。同样，如将曝光台调节到（蓝色）及绿色位置时，光束将会落在荧光屏上的来自蓝色及绿色电子枪的电子也将落于其上的部分。因此，在一系列光刻步骤时，可用曝光台将红，绿及蓝光荧光粉有选择地沉积在荧光屏上来自红，绿及蓝色电子枪的电子也得分别落于其上的位置处。亦可采用曝光台将一种黑色基底沉积在上述电子束不会落到的区域内。

在每一个光刻步骤中，必须将荫罩安装在屏盘中以供曝光台曝光之用，然后，予以暂时取下，以进行化学光致抗蚀工艺。此种处理工作常造成凹陷，此凹陷破坏了先前工序所建立起来的荫罩与荧光粉或基底图形的相应关系，破坏的结果，最后产品的电子束将不再落在予定的某种荧光粉位置上。例如，蓝色电子枪的电子可能落于红光荧光粉上。在此种情形时，阴极射线管将不会正确复现彩色。总而言之，荫罩相对于屏盘的任何变形或移位均会导致类似的问题。此外，屏盘本身可能具有隐蔽的缺陷，诸如一种颜色荧光粉对另一种颜色荧光粉的污染，荧光粉或衬底的不完全填充，以及荧光屏上的擦伤等。在目前，上述许多缺陷只在电子枪组件，漏斗部分与屏组件密封在一起后测试阴极射线管的彩色纯度时方能发现。本发明提供了在将屏盘密封的管子的漏斗部分的最后步骤以前有效地测试屏组件的上述缺陷的一种新颖方法。

本发明所包含的方法为在屏盘组件密封到阴极射线管漏斗部分以前测试彩色阴极射线管的屏组件的方法，以期查出组件的缺陷，该缺陷包括与屏盘上所配置的荧光屏邻接安装的带孔的荫罩上的凹痕及错位。将此荧光屏在大体上不含可见光的紫外线辐射中曝光，这种辐射的光束路径的选择是使得其通过荫罩的轨迹即为最后产品中的电子枪中之一的电子所应遵循的。此种紫外线辐射使荧光屏发光，然后分析荧光屏彩色的变化。如果屏盘与荫罩之间的相应关系没有变化，并将荧光粉正确置于屏盘上时，此荧光屏即以一种均匀颜色在其整个区域上面发光，其颜色相当于由紫外线辐射所模拟之电子枪在屏上所描出的颜色。在最后产品中会引起彩色纯度问题的屏盘缺陷将以彩色中的不一致性被显示出来。

单一附图为用以实施本发明的曝光台装置的局部截面正视图。