[其他]MOS场效应晶体管的栅压温度筛选方法在审

专利信息
申请号: 101985000007886 申请日: 1985-10-18
公开(公告)号: CN85107886B 公开(公告)日: 1988-02-24
发明(设计)人: 苗庆海;刘可辛 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: 分类号:
代理公司: 济南三达专利事务所 代理人: 王绪银;杨富贤
地址: 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: mos 场效应 晶体管 温度 筛选 方法
【权利要求书】:

1、一种MOS场效应晶体管的筛选方法,包括:

(1)首先测量待试验晶体管的阈电压VT

(2)将晶体管的源极和漏极短路,栅极和源极之间施加直流偏压,置于恒温中老化。

(3)保持栅源偏压不变,取出晶体管置于室温中冷却至室温,再去除偏压。

(4)再测量晶体管的阈电压值VT′。

(5)比较阈电压值ΔVT=|VT′-VT|,△VT大的晶体管即为稳定性和可靠性差的晶体管。

其特征在于在所述恒温老化同时,在MOS场效应晶体管的栅极与源漏极之间加直流偏压,而源极与漏极是(相互)短路的。

2、根据权利要求1所说的筛选方法,其特征在于晶体管栅极与源极所加电压为10-25伏(1×106伏/厘米),老化温度为150℃-170℃。

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