[其他]重掺锑硅单晶的制造方法在审
| 申请号： | 101986000000854 | 申请日： | 1986-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN86100854B | 公开（公告）日： | 1988-08-31 |
| 发明（设计）人： | 阙端麟;李立本;陈修治 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | 分类号： | ||
| 代理公司： | 浙江大学专利代理事务所 | 代理人： | 连寿金 |
| 地址： | 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 重掺锑硅单晶 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种重掺锑硅单晶的拉制方法，其特征在于以纯氮作为保护气氛采取减压下熔硅，常压下掺锑，减压下拉晶;熔硅时炉内压力为10～30托，氮气流量为5～40升/分，掺锑时炉内压力为0.9～1.2kg/cm2，拉晶时炉内压力为5～50托，氮气流量为10～30升/分。
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