[其他]电阻—氧化物—半导体场效应晶体管在审
申请号: | 101986000001937 | 申请日: | 1986-03-22 |
公开(公告)号: | CN86101937B | 公开(公告)日: | 1988-05-18 |
发明(设计)人: | 叶安祚;杨长根 | 申请(专利权)人: | 江西大学 |
主分类号: | 分类号: | ||
代理公司: | 江西省专利服务中心 | 代理人: | 郭毅力;喻尚威 |
地址: | 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电阻 氧化物 半导体 场效应 晶体管 | ||
【权利要求书】:
1、一种电阻-氧化物-半导体场效应晶体管,由一种导电类型的源区(14)和漏区(16)、另一种导电类型的衬底(15)、以及栅极氧化层(13)和栅极电阻层(12)组成,其特征是在栅极电阻层的两端制作两个欧姆接触电极,它们的联线方向与源漏间的联线方向垂直。
2、根据权利要求1所述的场效应管,其特征是栅极电阻层的电阻率为均匀的。
3、根据权利要求1所述的场效应管,其特征是栅极电阻层用多晶硅生长法生成。
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