[其他]一种等离子阳极化方法在审
| 申请号： | 101986000002538 | 申请日： | 1986-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN86102538B | 公开（公告）日： | 1988-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李琼 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | 分类号： | ||
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 | 代理人： | 汤锦森;俞允超 |
| 地址： | 上海普陀*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 阳极 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种等离子阳极化方法，其中含有反应室，电感耦合的射频放电，热阴极直流放电，
工作气体为O2，本发明的特征在于采用射频电源和直流电源共同激发的气体放电，真空反应室中加工作气压0.5～10TOrr。
2、按权利要求1规定的一种等离子阳极化方法，其特征在于真空反应室中的工作气体可以是O2，N2O，干燥空气，O2+Ar或其他含氧气体。
3、一种等离子阳极化设备，其中含有电炉、反应室、射频电源、直流电源、电极，本发明的特征在于真空放电室中的平行板电容器式的下电极上，镶装一圈与下电极板金属材料绝缘的半径一定的园阳极。多圈阳极结构是在平板电容器式的下电极上，镶装二圈或二圈以上与下电极金属材料绝缘的半径一定的阳极。阳极装在下电极上，与下电极绝缘，其位置与下电极边缘及中心孔等距。单片连续刻蚀结构是下电极中心安装一个单一与下电极绝缘，半径一定的阳极，其半径小于下电极半径。该阳极材料可为金属铝，或其他耐氧化导电金属材料，以云母片和绝缘子与下电极绝缘，其连接线由下电极下方引出。
4、按权利要求3规定的一种等离子阳极化设备，其特征在于真空反应室中的平行电容器式的二个电极上加上大功率射频电压，下电极上与之绝缘的阳极结构上与上电极形成直流回路，并在该直流回路中使用大功率直流电源。
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