[其他]轴承结构

权利要求书

1、一种轴承结构包括固定件（14）和转动件（12），用于支持相对于该固定件（14）绕一垂直轴旋转的工件支持盘（4），该转动件（12）和固定件（14）作向下的轴向运动，第二空气轴承在该转动件（12）和固定件（14）之间起作用，限定该转动件（12）相对于该固定件（14）作向上的轴向运动，管道装置（54）把空气输到该空气轴承（56，66），第三轴承（34，36，38）在该转动件（12）和该固定件（14）之间起作用，限定该转动件（12）相对于固定件（14）作径向运动，其特征在于该第三轴承是一种干低摩擦轴承（34，36，38），该第一空气轴承（56）的刚性比第二空气轴承（66）的刚性强。

2、如权利要求1所述的轴承结构，其特征在于每一个空气轴承（56，66）包括上述固定件（14）上的第一径向延伸环形面和上述转动件（12）上的第二径向延伸的环形面，该两环形面彼此相对，两者之间确定一间隔，该间隔与上述管道装置连接。

3、如权利要求2所述的轴承结构，其特征在于上述两轴承上的每一环形面在其围绕上述轴的位置都具有孔（60，64），该孔（60）与上述管道（52）相连接，把空气输到上述间隔，该第一空气轴承（56）的一个面中的孔（60）处于相对于该第二空气轴承（66）的一个面中的孔（64）径向朝外的位置。

4、如权利要求1所述的轴承结构，其特征在于，该第一空气轴承（56）处于第二空气轴承（66）之上。

5、如权利要求1所述的轴承结构，其特征在于干低摩擦轴承包括三个处于等角度分布位置的轴承部份（34，36，38）。

6、如权利要求5所述的轴承结构，其特征在于两个上述轴承部份（34，36）是固定的而第三个轴承部分（38）可径向调节。

7、如权利要求1所述的轴承结构，其特征在于驱动装置驱动转动件（12）以每分钟0.03转到10转的转速运转。