[其他]射线测厚方法和射线数字厚度计在审

专利信息
申请号: 101987000004383 申请日: 1987-06-25
公开(公告)号: CN87104383B 公开(公告)日: 1988-09-21
发明(设计)人: 王泽民 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: 分类号:
代理公司: 清华大学专利事务所 代理人: 张志东
地址: 北京市海*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 射线 方法 数字 厚度
【权利要求书】:

1、一种在线无接触材料厚度测量方法是:

由射线源〔1〕发出的射线穿过被测材料,一部分被材料吸收,剩余射线被探测器接收,产生与材料厚度有关的电流信号I1=I0e-μTh,其中I0为材料厚度为0时探测器的输出电流(A),μ为材料对射线的吸收系数(cm-1),Th为材料厚度(cm);

通过前置放大器〔3〕转换成电压信号V1=V0e-μTh,V0为材料厚度为0时前置放大器的输出电压信号;

再通过具有指数特性的A/D变换直接变换成厚度数字信号Th=1/μlnV0/V1;

其特征在于所说的指数A/D变换的方法是:

a)把V0和V1的差值(V0-V1)作为双积分A/D变换器的被测信号,即V0输入到信号高电位输入端InHi,V1输入到低电位信号输入端InLo;

把KV1输入参考电压的高输入端RefHi,其中K=R2/R1+R2,即R1并联于InLo和RefHi之间,R2并联于RefHi与RefLo之间,按公式

,选择R1和R2,其中T1为双积分变换器的积分周期(s),f为时钟频率(Hz),t为每个字代表的厚度值,μ为材料对射线的吸收系数(cm-1);

b)在双积分变换器的积分电容CInt上并联电阻Rp,按公式τ=RpCInt=1/ftμ选择Rp;

其变换结果就代表了厚度绝对值的数字信号;

c)修正透过被测材料的射线与指数规律偏离的方法是在积分电容CInt上并联由电子开关Ke1、Ke2控制通断的电阻R3、R4,电子开关由电压比较器〔5〕、〔6〕控制,当积分电容CInt上的电压达到预定的电压U*1时电压比较器〔5〕翻转,使电子开关Ke1通导,电阻R3并联于Rp上,同样当电压Vc=U*2时电阻R4并联于Rp和R1上,这样在电容CInt的充电的过程中改变几个时间常数,充电曲线成为几段折线,这就是用折线拟合材料对射线的吸收曲线的方法,用以修正厚度值与指数规律的偏离。

2、一种射线数字直读式厚度计,由射线源〔1〕,探测器〔2〕前置放大器〔3〕及二次仪表构成,其特点在于所说的二次仪表采用厚度值A/D变换器,时间常数调节电路和V0保持电路;

a)厚度值A/D变换器是在双积分A/D变换器的信号高输入端InHi输入材料厚度为O时前置放大器的输出电压V0,信号低输入端InLo输入材料厚度为Th时前置放大器的输出电压V1,在InLo与参考电压高输入端RefHi之间并联电阻R1,在RefHi与参考电压的低输入端RefLo之间并联电阻R2,R1、R2由公式

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