[发明专利]硅的湿化学处理方法及装置无效
| 申请号： | 200310101481.7 | 申请日： | 2003-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN1497066A | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 马克西米利安·斯塔德勒;京特·施瓦布;赫尔穆特·弗兰克 | 申请（专利权）人： | 瓦克硅电子股份公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 处理 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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