[发明专利]基于显微干涉技术的微机电系统的测试装置与方法无效
| 申请号： | 200310107131.1 | 申请日： | 2003-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1546943A | 公开（公告）日： | 2004-11-17 |
| 发明（设计）人： | 胡小唐;冯亚林;胡晓东;靳世久;傅星;郝一龙 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B9/02;G01B9/04 |
| 代理公司： | 天津市学苑有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 解松凡 |
| 地址： | 3000*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 显微 干涉 技术 微机 系统 测试 装置 方法 | ||
【说明书】：
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