[发明专利]快速热处理系统排气压力控制方法有效
| 申请号： | 200310108147.4 | 申请日： | 2003-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1611643A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 陈腾宏;卢祺;沈成刚;周利明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 快速 热处理 系统 排气 压力 控制 方法 | ||
【说明书】：
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