[发明专利]薄膜的制造方法及溅射装置有效
| 申请号： | 200310113060.6 | 申请日： | 2003-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN1536098A | 公开（公告）日： | 2004-10-13 |
| 发明（设计）人： | 宋亦周;樱井武 | 申请（专利权）人： | 株式会社新柯隆 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 制造 方法 溅射 装置 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社新柯隆，未经株式会社新柯隆许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200310113060.6/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：大规模生产虫草菌和灵芝菌的方法
- 下一篇：自动行走式清扫机及其运转方法
- 同类专利
- 专利分类
