[发明专利]曝光设备无效
| 申请号： | 200310117002.0 | 申请日： | 2003-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN1506762A | 公开（公告）日： | 2004-06-23 |
| 发明（设计）人： | 今井洋之 | 申请（专利权）人： | 株式会社阿迪泰克工程 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈坚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 搜索关键词： | 曝光 设备 | ||
【说明书】：
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