[发明专利]保持折反射光刻系统以无翻转（非镜面）像的分束器光学设计无效
| 申请号： | 200310118749.8 | 申请日： | 2003-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1504829A | 公开（公告）日： | 2004-06-16 |
| 发明（设计）人： | 哈里·体厄尔 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B17/08;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 保持 反射 光刻 系统 翻转 非镜面 分束器 光学 设计 | ||
【权利要求书】：
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