[发明专利]蚀刻液无效
申请号: | 200310118884.2 | 申请日: | 2003-12-04 |
公开(公告)号: | CN1506496A | 公开(公告)日: | 2004-06-23 |
发明(设计)人: | 栗山雅代;大串亮;秋山大作 | 申请(专利权)人: | 美格株式会社 |
主分类号: | C23F1/26 | 分类号: | C23F1/26;C23F1/28 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 戈泊;程伟 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蚀刻 | ||
【权利要求书】:
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