[发明专利]蒸镀装置无效
| 申请号： | 200310119539.0 | 申请日： | 2003-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1519391A | 公开（公告）日： | 2004-08-11 |
| 发明（设计）人： | U·霍夫曼恩;A·克雷佩尔;A·吉斯奇科;P·索尔 | 申请（专利权）人： | 应用菲林股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 胡强;赵辛 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【权利要求书】：
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