[发明专利]含有钨合金阻挡层的结构及其制作方法有效
| 申请号： | 200310119731.X | 申请日： | 2003-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN1505141A | 公开（公告）日： | 2004-06-16 |
| 发明（设计）人： | 帕纳约蒂斯·安德里察考斯;史蒂文·H·贝彻;桑德拉·G·马尔霍特拉;米兰·保诺维奇;克雷格·兰塞姆 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L23/532 | 分类号： | H01L23/532;H01L21/768;H01L21/3205 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 含有 合金 阻挡 结构 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国际商业机器公司，未经国际商业机器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200310119731.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
