[发明专利]超临界流体工艺条件的原位监控方法和装置无效
| 申请号： | 200310120639.5 | 申请日： | 2003-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN1507958A | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | 约翰·M·科特;肯尼思·J·麦卡洛;韦恩·M·莫罗;基思·R·波普;罗伯特·J·珀特尔;约翰·P·西蒙斯;查尔斯·J·塔夫特 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒;魏晓刚 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 临界 流体 工艺 条件 原位 监控 方法 装置 | ||
【说明书】：
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