[发明专利]具有高灵敏度的用于硅微电容传声器的芯片及其制备方法无效
| 申请号： | 200310121437.2 | 申请日： | 2003-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1630432A | 公开（公告）日： | 2005-06-22 |
| 发明（设计）人： | 徐联;汪承灏;李晓东;魏建辉;黄歆 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | H04R9/08 | 分类号： | H04R9/08;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 灵敏度 用于 电容 传声器 芯片 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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