[发明专利]增加金属－绝缘体－金属电容器的单位面积电容密度的方法有效
| 申请号： | 200310122877.X | 申请日： | 2003-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN1635595A | 公开（公告）日： | 2005-07-06 |
| 发明（设计）人： | 史望澄;林永锋;陈真 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01G4/30 | 分类号： | H01G4/30;H01G4/33;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 增加 金属 绝缘体 电容器 单位 面积 电容 密度 方法 | ||
【权利要求书】：
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