[发明专利]物理气相沉积系统中的准直管的温度控制装置有效
| 申请号： | 200310122890.5 | 申请日： | 2003-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN1632161A | 公开（公告）日： | 2005-06-29 |
| 发明（设计）人： | 温家琳 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海隆天新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 竺明;谢晋光 |
| 地址： | 201203上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理 沉积 系统 中的 准直管 温度 控制 装置 | ||
【权利要求书】：
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