[发明专利]可观测离子束造成的表面损伤的TEM样片及其制备方法有效
| 申请号： | 200310122961.1 | 申请日： | 2003-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN1635365A | 公开（公告）日： | 2005-07-06 |
| 发明（设计）人： | 张启华;高强;李明;牛崇实 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/18 | 分类号： | G01N23/18;G01N1/44 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 观测 离子束 造成 表面 损伤 tem 样片 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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