[发明专利]带有防滑脱样片取放装置的扫描式电子显微镜有效
| 申请号： | 200310122968.3 | 申请日： | 2003-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN1635604A | 公开（公告）日： | 2005-07-06 |
| 发明（设计）人： | 梁山安;季春葵;秦立勇;杨礼仲 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01L21/66;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带有 滑脱 样片 装置 扫描 电子显微镜 | ||
【权利要求书】：
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