[实用新型]一种用于热蒸发型真空镀膜设备的热蒸发源无效
| 申请号： | 200320108962.6 | 申请日： | 2003-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN2668649Y | 公开（公告）日： | 2005-01-05 |
| 发明（设计）人： | 徐良衡;徐英明;陈绍 | 申请（专利权）人： | 上海复旦天臣新技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 罗大忱 |
| 地址： | 200437上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 蒸发 真空镀膜 设备 | ||
【权利要求书】：
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