[发明专利]一种用于填充球栅极阵列模板的设备和方法无效
| 申请号： | 200380101263.1 | 申请日： | 2003-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN1703295A | 公开（公告）日： | 2005-11-30 |
| 发明（设计）人： | 黄文洲;谭永桦;林贻潮 | 申请（专利权）人： | 奥利进科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K3/06 | 分类号： | B23K3/06;H01L21/60 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘兴鹏 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 填充 栅极 阵列 模板 设备 方法 | ||
【权利要求书】：
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