[发明专利]制造由层列构成的台阶式构型的方法有效
申请号: | 200380101700.X | 申请日: | 2003-10-17 |
公开(公告)号: | CN1706041A | 公开(公告)日: | 2005-12-07 |
发明(设计)人: | 杰罗姆·阿萨尔;西蒙·艾歇尔;埃里希·南塞 | 申请(专利权)人: | ABB瑞士有限公司 |
主分类号: | H01L23/485 | 分类号: | H01L23/485 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 朱登河;王学强 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 构成 台阶 构型 方法 | ||
【权利要求书】:
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