[发明专利]供化学机械抛光用的透明微孔材料有效
| 申请号： | 200380102155.6 | 申请日： | 2003-10-06 |
| 公开（公告）号： | CN1708377A | 公开（公告）日： | 2005-12-14 |
| 发明（设计）人： | 阿巴尼什沃·普拉萨德 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B49/12;B24D7/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 透明 微孔 材料 | ||
【权利要求书】：
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