[发明专利]由接触环造型控制的电镀均匀性无效
| 申请号： | 200380103806.3 | 申请日： | 2003-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN1714177A | 公开（公告）日： | 2005-12-28 |
| 发明（设计）人： | H·赫晨;H·豪;C·M·伊斯坦布恩;T·R·韦伯;S·N·特瑞恩 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D17/06;H01L21/288 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 接触 造型 控制 电镀 均匀 | ||
【权利要求书】：
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