[发明专利]用于感光树脂组合物的涂敷性能改善剂和含有这种改善剂的感光树脂组合物有效
| 申请号： | 200380104035.X | 申请日： | 2003-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN1714315A | 公开（公告）日： | 2005-12-28 |
| 发明（设计）人： | 渡部顺一郎;武田贵志 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料(日本)株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 感光 树脂 组合 性能 改善 含有 这种 | ||
【权利要求书】：
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