[发明专利]使用超高耐热性正型感光组合物的图案形成方法无效
| 申请号： | 200380104283.4 | 申请日： | 2003-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN1717626A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 井川昭彦;山本敦子 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料(日本)株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/022;G03F7/20;G03F7/40;G03F1/08 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 超高 耐热性 感光 组合 图案 形成 方法 | ||
【说明书】：
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